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太原理工大学电子探针显微镜更正公告

变更-信息变更

山西 -太原

发布时间： 2024年11月15日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

电子探针显微镜

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：****

原公告的采购项目名称：****电子探针显微镜

首次公告日期：2024年11月04日

二、更正信息

更正事项：采购公告,采购文件

更正内容：

序号	更正项	更正前内容	更正后内容
1	提交投标文件截止时间	2024年11月26日09点30分（**时间）	2024年12月2日15点00分（**时间）
2	投标文件解密时间	2024年11月26日09点30分至2024年11月26日10点30分（**时间）	2024年12月2日15点00分至2024年12月2日16点00分（**时间）
3	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	★3.1.3 图像分辨率: ≤2.5nm(30kV, 工作距离11mm)；	3.1.3 图像分辨率:≤3nm(30kV)；
4	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	3.2 波谱/能谱一体化系统 ★3.2.1 波谱/能谱数据结果可进行自动叠加，也可将先进行的能谱扫描结果注册到后续的波谱扫描结果中，利用主要成分元素由能谱分析和微量元素由波谱分析的特点，实现高速元素分析； ★3.2.2可根据能谱定性结果自动推荐波谱适合的分光晶体； ★3.2.3具有电子束自动漂移补偿功能, 通过电子束追踪检测马达驱动样品台在移动视野时产生的微小图像偏移，保证面分布图分析精度：≤80nm； ★3.2.5波谱仪及分光晶体类型:140mm和100mm两种； 3.2.5.1分光晶体交换：随时随地自动交换，晶体交换时间少于3秒；交换后不需要再聚焦；更换测量元素时，也不需要重新聚焦 3.2.6.6分析方法包括ZAF法，PHI-RHO-Z校正法	3.2 波谱/能谱系统或高灵敏度和高分辨率能谱仪 3.2.1 波谱/能谱数据结果可进行叠加，利用主要成分元素由能谱分析和微量元素由波谱分析的特点，实现高速元素分析；或采用高灵敏度和高分辨率能谱仪 3.2.2可根据能谱定性结果自动推荐波谱适合的分光晶体； 3.2.3具有电子束自动漂移补偿功能, 通过电子束追踪检测马达驱动样品台在移动视野时产生的微小图像偏移，保证面分布图分析精度：≤80nm； 3.2.5分光晶体半径≥100mm；删除3.2.5.1 删除3.2.6.6
5	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	3.3.2样品台移动范围：X/Y≥90mm, Z≥7.5mm,完全观察90mm直径样品 ★3.3.7 配有自动进样系统：样品放入预抽室后自动抽好真空并传送至样品仓，无需人工推杆； ★3.3.9自动仪器定期校准功能：通过18种内置于样品仓中的高纯元素单质：B, C, Al2O3, LiF, Mg, Al, Si, Ti, Cr, Fe, Ni, Cu, Zr, Mo, Sn, W, Au, ZrO2，可以在夜间自动仪器校准，并具有维护提示功能。	3.3.2样品台移动范围：X/Y≥90mm, Z≥7mm,完全观察 90mm直径样品； 3.3.7 配有自动进样系统 3.3.9自动仪器定期校准功能：通过18种内置于样品仓中的高纯元素单质：B, C, Al2O3, LiF, Mg, Al, Si, Ti, Cr, Fe, Ni, Cu, Zr, Mo, Sn, W, Au, ZrO2，可以在夜间自动仪器校准，并具有维护提示功能；
6	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	★3.5.3 一体化可变焦光学大视野导航相机×1：可在光学大视野相机下寻找样品并进行视野切换，还可以从光学图像无缝切换至高分辨电镜图像，视野范围可达100mm×100mm；	3.5.3 具有大视野导航功能
7	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	★3.6.5 电子探针标准定量分析软件：波谱标准样品数据采集软件；波谱定量分析数据采集软件；波谱金属ZAF校量分析软件；波谱氧化物ZAF校量分析软件；波谱定量分析数据编辑软件；波谱校正曲线法分析软件；波谱线分析数据采集和显示软件；波谱线分析数据计算软件；波谱面分析数据计算软件；曲面面分析软件；波谱系列分析软件；定量数据输出包含探测极限、标准偏差和阳离子数、阴离子数条目； 3.6.9最优成像技术:通过滤波处理将每分区的图像组合起来以使重构后的信噪比最大化，实现电子束敏感材料的超低剂量成像可在同一幅图像中同时获取轻重元素的清晰衬度。	3.6.5 电子探针标准定量分析软件：波谱标准样品数据采集软件；波谱定量分析数据采集软件；波谱金属ZAF校量分析软件；波谱氧化物ZAF校量分析软件；波谱定量分析数据编辑软件；波谱校正曲线法分析软件；波谱线分析数据采集和显示软件；波谱线分析数据计算软件；波谱面分析数据计算软件；曲面面分析软件；波谱系列分析软件；定量数据输出包含探测极限、标准偏差；删除3.6.9
8	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	★3.9.1 XYZ三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围不小于90微米；Z 方向扫描范围不小于10微米；扫描器 Z 方向实际测试噪声水平：不高于0.035nm（RMS）； XY 方向实际测试噪声水平：不高于0.15nm（RMS）； ★3.9.2单一扫描器需能同时满足不小于90微米大范围扫描和高分辨率成像。要求具备探针扫描的扫描器，扫描过程中样品为完全静止状态； 3.9.3进针方式：智能自动进针方式，采用压电陶瓷带动探针寻找样品表面的智能进针模式，以保护探针及样品；	3.9.1 XYZ三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围不小于90微米；Z 方向扫描范围不小于10微米；扫描器 Z 方向实际测试噪声水平：不高于0.035nm（RMS）； XY 方向实际测试噪声水平：不高于0.15nm（RMS）； 3.9.2单一扫描器需能同时满足不小于90微米大范围扫描和高分辨率成像。要求具备探针扫描的扫描器，扫描过程中样品为完全静止状态； 3.9.3进针方式：智能自动进针方式，以保护探针及样品；
9	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	★3.10样品台：样品台尺寸不小于150mm；能放置最大样品高度不低于10mm。要求样品台可真空吸附样品，并且可360 度旋转；	3.10样品台：样品台尺寸不小于150mm；能放置最大样品高度不低于10mm。
10	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	★3.14.1要求辅助光学显微镜具备缩放功能，视野可调节范围从180微米至1465微米。光学分辨率≤1.5um；	3.14.1要求辅助光学显微镜具备缩放功能，视野可调节。光学分辨率≤1.5um；
11	第五部分商务、技术要求；三、技术要求；1、采购货物明细及参数	3.16需提供现场环境改造，以满足设备使用需求为准。	★3.16需提供现场环境改造，以满足设备使用需求为准。